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半導(dǎo)體封測設(shè)備的具體組成部分有哪些?

發(fā)布時間:

2022-05-17 17:08


隨著技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體芯片中晶體管的密度越來越高,相關(guān)產(chǎn)品的復(fù)雜度和集成度呈指數(shù)級增長,這對芯片設(shè)計和開發(fā)來說是前所未有的挑戰(zhàn)。另一方面,隨著芯片開發(fā)周期的縮短,對流片成功率的要求非常高,任何失敗都是企業(yè)難以承受的。為此,在芯片設(shè)計開發(fā)過程中,需要進行充分的驗證和測試。此外,隨著半導(dǎo)體工藝技術(shù)的不斷提高,需要面對大量的技術(shù)挑戰(zhàn),測試也變得更加重要。那么,半導(dǎo)體封裝評估使用什么設(shè)備呢?

具體來說,主要的半導(dǎo)體封測設(shè)備包括:

(1) 打薄機

由于制造工藝的要求,對晶片的尺寸精度、幾何精度、表面清潔度和表面微晶格結(jié)構(gòu)提出了很高的要求。因此,在數(shù)百個工藝流程的過程中,只有具有一定厚度的晶圓才能用于轉(zhuǎn)移和流片。通常,在封裝集成電路之前,需要去除晶圓背面一定厚度的多余基材。該工藝稱為晶圓背面減薄工藝,對應(yīng)的設(shè)備為晶圓減薄機。減薄機通過減薄/研磨對晶圓基板進行減薄,以提高芯片的散熱效果。減薄到一定厚度有利于后期的封裝工藝。

(2) 四個探頭

測量不透明薄膜的厚度。由于不能用光學(xué)原理測量不透明薄膜,所以用四點探針儀測量薄膜電阻,根據(jù)薄膜厚度與薄膜電阻的關(guān)系間接測量薄膜厚度。薄層電阻可以理解為硅片上方形薄膜兩端之間的電阻,與薄膜的電阻率和厚度有關(guān),與方形薄膜的大小無關(guān)。四個探針接觸硅片,四個探針依次等距放置在一條直線上,在兩個外部探針之間施加已知電流,同時測量內(nèi)部兩個探針之間的電位差,由此可以得到薄層電阻值。獲得。

(3) 切丁機

劃片機包括砂輪劃片機和激光劃片機兩種。其中砂輪劃片機是集水、氣、電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器、自動控制等技術(shù)于一體的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路、發(fā)光二極管、鈮酸鋰、壓電陶瓷、砷化鎵、藍(lán)寶石、氧化鋁、氧化鐵、石英、玻璃、陶瓷、太陽能電池等材料的切割加工。砂輪劃片機在國內(nèi)也稱為精密砂輪切割機。

激光劃片機利用高能激光束照射工件表面,使照射區(qū)域部分熔化汽化,從而達到劃片的目的。由于激光通過特殊的光學(xué)系統(tǒng)聚焦成為一個很小的光斑,能量密度高,而且由于加工是非接觸式的,工件本身沒有機械沖壓力,工件不易變形.熱影響極小,劃線精度高。它廣泛用于太陽能電池板和金屬薄板的切割和劃線。

(4) 試驗機

測試儀是測試芯片功能和性能的專用設(shè)備。在測試過程中,測試儀對待測芯片施加輸入信號,將得到的輸出信號與預(yù)期值進行比較,以判斷芯片的電氣性能和產(chǎn)品功能的有效性。在CP和FT測試環(huán)節(jié),測試機分別將結(jié)果傳送到探針臺和分揀機。當(dāng)探針臺接收到測試結(jié)果后,進行噴墨??操作,在晶圓上標(biāo)記有缺陷的芯片;當(dāng)分揀機收到測試儀的結(jié)果時,芯片被選擇和分揀。

(5) 分揀機

分選設(shè)備用于芯片封裝后的FT測試環(huán)節(jié)。它是一種后端測試設(shè)備,提供芯片篩選和分類功能。分揀機負(fù)責(zé)按照系統(tǒng)設(shè)計的取放方式將輸入芯片運送到測試模塊,完成電路壓力測試。在這一步中,分揀機選擇并分類

電路根據(jù)測試結(jié)果。分揀機按系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可分為三類,即重力分揀機、轉(zhuǎn)塔分揀機和拾放分揀機。

金宇半導(dǎo)體造粒車間

封測的重要性主要體現(xiàn)在它是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中的最后一道檢查工序。半導(dǎo)體生產(chǎn)流程如下:晶圓制造、晶圓測試、芯片封裝,最后封裝測試。在生產(chǎn)的每一步都被檢查的同時,封測是最終可以投入使用的標(biāo)準(zhǔn),因此封測就顯得尤為重要。金宇半導(dǎo)體作為一家自產(chǎn)自銷的半導(dǎo)體企業(yè),擁有專業(yè)的封測服務(wù),對外提供封測一站式應(yīng)用解決方案和現(xiàn)場技術(shù)支持服務(wù)。

這些半導(dǎo)體器件是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵支撐環(huán)節(jié),是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先鋒。生產(chǎn)中的每一步都需要在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)進行設(shè)計和制造,而設(shè)備的技術(shù)進步反過來又推動了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

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